1983年，陈星弼回校，当选为系主任。他筹建了微电子研究所，并对以功率MOST为核心的现代电力电子器件及相关技术进行研制及开发。在该领域，我国每项器件及技术几乎都是陈星弼率先提出立项并作为项目（或课题）的第一负责人，带领一批骨干攻关完成。
在集成电路研究的崎岖山路上，陈星弼的团队迎难前行。1986年起，陈星弼针对如何避免有源区周界的表面击穿而尽可能达到体内理论击穿电压给出物理解释。这一问题是功率器件中的一个关键环节。当时世界上虽有多种终端技术，物理阐释上还是空白。陈星弼继续向陡峭的巉岩攀登。他提出了性能更加优越的终端技术理论——斜坡场板。这是他攻破场限环与场板及表面电荷影响的理论分析后的可喜成果。
他在攀登中又有新收获。如何在表面面积最小的情况下获得最高的击穿电压呢？陈星弼提出了电阻场板和表面掺杂两种较新的终端技术的理论分析与设计技术，使这一设想成为可能。
……
不期然间，无数困难险阻化为足下群山——陈星弼已完成了功率器件全部终端技术的理论系统的研究。
另外，陈星弼对功率器件的深入研究使他发现现有器件的几种主要内在矛盾。
理论创新带来技术创新，险峰之上，雪莲万千。陈星弼带领他的研究小组，经过多年的实验，发明了“复合缓冲层的耐压结构”、“具有异型掺杂岛的半导体器件的耐压层”、“新表面耐压层结构”等。这些发明大幅度地突破了传统器件的极限，成为功率器件的里程碑。
对于这些发明，陈星弼曾撰文阐释，他谈到：“微电子技术是应用一个比头发丝细百倍（且越来越细）的晶体管（半导体器件）代替50年前有半个香蕉大的电子管。”而用微电子技术控制利用电能的方法，被称为第二次电子革命。但是，功率管耐高电压的要求与集成电路只能耐低电压的矛盾制约了功率管对电能的控制。陈星弼的几项发明解决了这一关键问题，他形象地解释为“让仪器‘有一个聪明的大脑’的集成电路，还能做到‘四肢发达’”。
国内外专家认为，陈星弼的这几项重要发明将成为第二次电子革命的突破口，这一创新十年内都无人超越。
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1999年，在得知陈星弼入选中国科学院院士的第二天，有记者采访了陈星弼。尚在病榻上的陈星弼，不谈荣誉，却念念不忘青年学生的成长。他反复强调要提高学生素质，要培养学生脚踏实地的治学精神。
陈星弼始终把德作为学生最重要的素质。从教50余年来，陈星弼已培养了千余名学生，他常教育青年：“一个人有了比较好的德，他才能勤奋、刻苦地学习，深入细致地钻研。那么即使现在没有本事，将来本事也会大起来。”陈星弼还以爱因斯坦的一句名言勉励学生：“人只有献身社会，才能找到那实际上是短暂而有风险的生命的意义。”
这句话其实也是陈星弼自己的生活写照。70多岁已是颐养天年、含饴弄孙、享受天伦之乐的年龄，陈星弼却每天都在他那间20平方米的实验室度过，时常到深夜两三点钟才休息。在他看来，生活着就应该工作着，除了吃饭睡觉没有业余时间。“文革”中，陈星弼还爱下围棋，现在连这点消遣也取消了。也许，在别人眼里，他过着苦行僧似的生活，而从少年时就视科学为乐趣的陈星弼却“躲进小楼成一统，管他春夏与秋冬”，他乐此不疲，孜孜不倦。
陈星弼治学严谨，从一件小事就可以看出来。1990年，他撰写了一篇论文投往国外某杂志。当对方决定发表时，陈星弼突然发现论文中某一数据有问题，他一面通知对方暂不发表，一面又埋头研究核实。
在对理工科学生的培养中，陈星弼很重视人文素质的培养。2005年，在微电子与固体电子学院05级研究生、本科生新生开学典礼上，陈星弼要求每一位新生至少要在大学期间背得出三篇古文：王羲之的《兰亭集序》、范仲淹的《岳阳楼记》、诸葛亮的《出师表》。为什么要做这样的要求呢？陈星弼说：“我发现许多学生的语文成绩挺差的，表达意思含糊不清，有学生告诉我，他们中有些人高考时，语文甚至不及格。”他谈起目前重理轻文的现象，语带焦虑：“作为一个中国人，母语不过关，又怎么称得上是华夏儿女呢！”
有鉴于此，陈星弼精选以上三篇古文让学生诵读。他解释说，《兰亭集序》是文人的聚会，《岳阳楼记》体现了知识分子对国对民强烈的使命感，而《出师表》能激发青年树立远大理想、为国奉献的情怀。一番谆谆教诲，表现了陈星弼希望青年学生全面成才的良苦用心。
而这样的引导，也的确有许多文理兼优的前辈作为榜样。钱伟长、华罗庚等古语都非常好，苏步青也是文理皆通的大家。语言文学能促进思维，增强表达，对科研及思维的开拓有潜移默化的作用。而陈星弼自己早年学过小提琴，能演奏许多古典名曲，在文学方面造诣也很深。陈星弼也希望自己的学生，对专业以外的知识兼收并蓄，全面发展。
陈星弼对学生的关爱之心、在育人事业上的辛勤躬耕广受赞誉。1997年，他被评为电子部优秀教师，1998年被评为全国优秀教师。
朗朗明月照心境
50余年的教学研究生涯，陈星弼已是硕果累累，桃李满天下。他作为唯一（或第一）作者（或主研）已在IEEE等学术刊物上发表论文40多篇，取得美国及中国发明专利权六项，获得国家发明奖及国家科技进步奖两项，省、部级奖13项。圆满完成国家自然科学基金重点项目、军事预研项目及国家“八五”科技攻关重大项目，并获得国家“八五”科技攻关先进个人称号，受到江泽民同志等党和国家领导人的接见及表彰。
2002年8月，陈星弼获信产部公布的信息产业重大技术发明奖（三项中排第一）；2002年8月获美国3D公司杰出创新技术认可奖，该项目不仅是技术创新，而且对环保具有极大的意义。
陈星弼有四项部级鉴定的新功率器件与功率集成电路被评为“结构属国际首创”、“性能属国际领先”。
陈星弼这样一位学界泰斗在生活中却十分淡泊名利。1996年，有一位记者采访他时，发现“陈星弼从穿着到谈吐都很随和”。
记者问世俗生活的荣华富贵对他是否有诱惑力，陈星弼说没有。他一针见血地指出，现代人对物质的无限追求是精神上贫乏的表现。“物质享受到底有多大快乐？”陈星弼风趣地说：“我看现在那些人玩的水平很低，无非是消耗钱。他们玩的东西人人都可以玩，我们玩的东西（科学研究）他们玩不成，我们很骄傲啦！”
陈星弼又是一个充满人情味的人，待人宽厚仁慈。他有留在国外生活工作的条件，他唯一的儿子也在美国从事科研工作，但他不喜欢国外的生活。他说，那里的生活环境、科研条件肯定都比中国好，可是缺少“人情味”。
陈星弼从“文化大革命”时起照顾患病的夫人，至今已几十年了。在一张家庭照片上，厨房里的陈星弼正在清洗拖帕，他的夫人倚着门框，老两口不经意间流露出相濡以沫的情怀。
陈星弼不显老，虽然，自己患有心脏病，又要照顾妻子，在这样的情况下，还有繁重的学术研究工作。但他超然物外，乐观生活。他笑言：“我这人思想顾虑少，所以活得很轻松。”
几十年斗转星移，陈星弼不仅取得丰硕的科研成果，其人格魅力更是仰之弥高，俯之愈深。
（杨丽可 海涛）